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中国国家电子超纯水标准
GB/T1146.1-1997
| 指标 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | |
| 电阻率MΩ.cm（25℃） | 18以上（95%时间）不低于17 | 15（95%时间）不低于13 | |
| 硅≤µg/l | 2 | 10 | |
| >1µM微粒数≤个/ml | 0.1 | 5 | |
| 细菌个数≤个/ml | 0.01 | 0.1 | |
| 铜≤µg/l | 0.2 | 1 | |
| 锌≤µg/l | 0.2 | 1 | |
| 镍≤µg/l | 0.1 | 1 | |
| 钠≤µg/l | 0.5 | 2 | |
| 钾≤µg/l | 0.5 | 2 | |
| 氯≤µg/l | 1 | 1 | |
| 硝酸根≤µg/l | 1 | 1 | |
| 磷酸根≤µg/l | 1 | 1 | |
| 硫酸根≤µg/l | 1 | 1 | |
| 总有机碳≤µg/l | 20 | 100 | |
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